Anturin kärjen korjaustyökalut luokitellaan ensisijaisesti anturin tyypin ja passivointiasteen perusteella. Niihin kuuluvat fyysiset puhdistusvälineet, kemialliset puhdistuslaitteet, sähkökemialliset korjauslaitteet ja erikoistuneet diagnostiset instrumentit. Näitä työkaluja käytetään lievästi passivoidun antureiden suorituskyvyn palauttamiseen tai sen määrittämiseen, vaatiiko anturi vaihtoa.
I. Fyysiset puhdistusvälineet: Soveltuvat pintakontaminaatioon tai lievään hapettumiseen
1. Ultra-hienohiomatyökalut
Ultra-hienohiomapaperi (2000 karkeaa tai enemmän): Käytetään pinnan oksidikerroksen kiillottamiseen metallikoettimissa (kuten Pogo-nastat tai yleismittarin mittausjohdot) johtavuuden palauttamiseksi.
Nukkaamaton{0}}liina + isopropyylialkoholi (IPA): Käytetään tahrojen pyyhkimiseen anturin kärjistä. helppokäyttöinen ja sopiva nopeaan-hoitoon paikan päällä.
Mikro-ohjattu kiillotuskone: Mahdollistaa anturien ohjatun kiillotuksen mikroskoopin alla, mikä estää liiallisen kulumisen.
Sovellettavat skenaariot: Teollisten testianturien ja piirien korjausneulojen rutiinihuolto.
2. Ilmavirtaus- ja harjaustyökalut
Typpipuhalluspistooli: Poistaa anturin kärkiin tarttuneen pölyn ja estää sekundaarikontaminaation.
Ultraäänipuhdistusaine: Käytetään yhdessä puhdistusliuoksen kanssa poistamaan tehokkaasti hiukkaset ja orgaaniset jäämät.
II. Kemialliset ja sähkökemialliset korjauslaitteet: Kohdennettu oksidikerrosten poisto
1. Kemialliset puhdistusliuokset
Laimennettu kloorivetyhappo tai sitruunahappoliuos: Käytetään metallikoettimien (esim. volframi, berylliumkupari) liotukseen pintaoksidien liuottamiseksi.
Erikoistunut elektroninen anturin puhdistusneste: Kaupalliset tuotteet (esim. DeoxIT D5), jotka voivat turvallisesti poistaa oksidikalvot vahingoittamatta alustamateriaalia.
Huomautus: Ei sovellu pii{0}}pohjaisille AFM-antureille, koska se voi syövyttää ulokerakennetta.
2. Sähkökemialliset korjauslaitteet
Ohjattu-Virtainen elektrolyysijärjestelmä: Poistaa oksidikerrokset säätämällä jännitettä ja elektrolyyttipitoisuutta muuttamatta anturin geometrista muotoa.
Mikro-elektrolyyttikenno: Suunniteltu erityisesti halkaisijaltaan-pienille antureille paikallisen puhdistuksen mahdollistamiseksi.
Edut: Suuri puhdistustarkkuus ja minimaaliset vauriot; sopii arvokkaiden -anturien ylläpitoon.
III. Erikoiskäsittelytekniikat nanomittakaavan antureille (ei kotikäyttöön)
1. Plasman puhdistusaine
Käyttää happiplasmaa orgaanisten epäpuhtauksien hajottamiseen; käytetään laajalti AFM- ja puolijohdelontimien laboratorio{0}}puhdistukseen.
Parantaa tehokkaasti kärjen reaktiivisuutta ja palauttaa pinnan johtavuuden.
2. Fokusoidun ionisäteen (FIB) teroitus
"Veistää" kärjet atomimittakaavassa palauttaakseen- terävän profiilin.
Huippuluokan-tutkimustekniikka, joka vaatii huomattavia kustannuksia ja jota voidaan käyttää vain erikoisskenaarioissa.
Käytännön rajoitukset: FIB-laitteet ovat kalliita ja monimutkaisia käyttää; sillä ei ole yleisarvoa korjausratkaisuna ja se on tyypillisesti vähemmän taloudellista ja luotettavaa kuin pelkkä anturin vaihtaminen uuteen.
IV. Post-korjausvahvistustyökalut: Suorituskykystandardien noudattamisen varmistaminen
1. Pyyhkäisyelektronimikroskooppi (SEM)
Tarkkailee suoraan kärjen morfologiaa määrittääkseen, onko kaarevuussäde palautunut.
Toimii laboratorion arvovaltaisina menetelmänä kärkien tylsyyden arvioinnissa.
2. Valkoisen valon interferometri / AFM--itsekalibrointi
Arvioi epäsuorasti anturin kunnon 3D-pinnan rekonstruoinnin tai standardinäytteiden kuvantamisen avulla.
Soveltuu rutiinitarkistukseen ympäristöissä, joissa SEM ei ole käytettävissä.
3. Vakionäytteen testausmenetelmä
Käyttää näytteitä, joilla on tunnetut rakenteet (esim. HOPG, diffraktiohilastandardit) vertailevaan skannaukseen.
Jos tuloksena saadut kuvat ovat selkeitä eikä niissä ole leveneviä artefakteja, se osoittaa, että anturi toimii normaalisti.
